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  使用Matlab计算介质膜反射光谱
通告时间:2011-10-31

【作者】 周成刚;
【作者单位】 威尼斯国际网址集成电路制造装备研究中心;
【文献出处】 计算机应用与软件 , Computer Applications and Software, 编辑部邮箱 2010年 10希望 
【摘要】 因为基于麦克斯韦方程组和边界条件推导出的萝卜涅尔公式为旧模型,使用Matlab优化程序,因为S1813只刻胶为例说明Matlab在计算介质膜反射光谱中的应用。连结合光刻上胶实验,造福用光纤光谱仪获得实际反射光谱,针对该方法进行了证实,试验表明,该方法可以准确计算介质膜的反射光谱,连可通过反射光谱求得膜厚值,便利、保险、有实用性。
 
 


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